MEMS傳感器是當(dāng)前芯片制造領(lǐng)域火熱的話題之一，智能手機(jī)、新能源汽車以及各類智能穿戴，會消耗大量MEMS傳感器。對于很多MEMS傳感器生產(chǎn)商來說，提升MEMS傳感器的質(zhì)量是拓展市的關(guān)鍵。近年來，MEMS傳感器的小型化趨勢愈發(fā)明顯，而檢測試需求正在持續(xù)提升。

MEMS傳感器的分類復(fù)雜，全球每年消耗的MEMS傳感器數(shù)以億計，這些MEMS傳感器的被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、汽車電子、智能制造等領(lǐng)域。由于不同MEMS器件的功能和性能都存在差異，以往的測試方案都是采用定制化的儀器。造價高昂的測試方案導(dǎo)致MEMS傳感器廠商的測試成本提升，最終由消費者買單。

在萬物互聯(lián)時代，MEMS測試技術(shù)隨著市場需求日漸成熟，以SPEA為代表的MEMS半導(dǎo)體自動化測試設(shè)備服務(wù)商正在努力實現(xiàn)快速，高精度、低成本的檢測。作為國際領(lǐng)先的高性能MEMS傳感器測試設(shè)備供應(yīng)商之一，SPEA推出過多款MEMS測試設(shè)備，它們滿足廠商對測量精度和長期穩(wěn)定性的苛刻要求。

SPEA的MEMS測試設(shè)備結(jié)合了快速和溫和的取放處理、可靠的接觸和完整的最終測試能力，包括電氣測試、功能測試和校準(zhǔn)的物理激勵以及三溫?zé)嵴{(diào)節(jié)。從設(shè)備編程到生產(chǎn)控制，SPEA自主開發(fā)應(yīng)用軟件可以精準(zhǔn)管理每一項細(xì)節(jié)。

SPEA的MEMS測試儀能夠完美地復(fù)制各種設(shè)備的真實工作條件，在激勵應(yīng)用期間與測試資源的持續(xù)連接使設(shè)備能夠準(zhǔn)確地驗證設(shè)備是否正常工作。測試資源可以嵌入到激勵單元中，或安裝在一個緊湊的、只有測試頭的測試儀中。

此外，多個刺激可以組合在一個測試單元中，以是西安組合型MEMS單元測試，如環(huán)境傳感器（壓力+濕度+氣體+溫度）或?qū)Ш絺鞲衅鳎�加速度�?span lang="EN-US">+陀螺儀+指南針）。

得益于在MEMS測試技術(shù)領(lǐng)域的長期積累，SPEA已在MEMS測試設(shè)備的設(shè)計、制造、測試方案、售后服務(wù)等方面占據(jù)了先機(jī)，并建立了完整的業(yè)務(wù)流程和供應(yīng)鏈體系，其MEMS測試設(shè)備已廣泛應(yīng)用于MEMS聲學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS加速度傳感器、MEMS陀螺儀傳感器、MEMS組合慣性傳感器、MEMS磁傳感器、MEMS微流控系統(tǒng)、射頻MEMS等數(shù)百種傳感器測試。

SPEA可以為全球MEMS傳感器設(shè)備制造商提供完整解決方案和良好的本地化支持。除了消費電子、新能源汽車及醫(yī)療領(lǐng)域的MEMS器件檢測，SPEA正在進(jìn)一步開拓元宇宙、智能穿戴、航天航空等市場，為更多客戶提供更智能化、更低成本、更高效的MEMS傳感器測試儀器，SPEA有望成為MEMS測試領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。