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來源：中國電子報 中小MEMS企業創新面臨產品中試困境，制約了我國MEMS產業發展。日前中國—新加坡蘇州工業園區舉辦了一場具有特別意義的MEMS傳感器產品交付會，蘇州納米科技發展有限公司將6英寸微納機電制造(MEMS)中試線的首個產品正式交付客戶。這也意味著國內首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電制造(MEMS)中試線正式運營，該中試線的投用將為我國中小MEMS企業的發展帶來福音。 據了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線，由蘇州納米科技發展有限公司建設，超凈場地、廠務配套設施、研發實驗室、公共服務等場地共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業轉型升級服務平臺項目”支持。 6英寸微納機電制造(MEMS)中試線的推動者、蘇州納米科技發展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業協會秘書長張希軍一直積極推動中試線建設，他對MEMS中試線的產業意義有更深層次的思考，認為中試線不僅是中小企業的創新平臺，更彌補了中國MEMS產業創新鏈的空白。 “我國中小MEMS企業發展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是產品的工程化與中試生產，規模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業規模化成長的瓶頸。”張希軍告訴記者。 智恒(廈門)微電子有限公司總經理鄭政也表達了類似的看法，“MEMS領域的Fab(代工廠)和大的封裝廠費用門檻較高，小公司往往很難承受”。鄭政是2012年國家千人計劃專家，長期從事基于MEMS和集成電路的智能傳感器的研究、開發及產業化工作。 張希軍的“瓶頸說”形象地揭示了我國MEMS產業領域中小企業的生存現狀。由于我國MEMS產業的創新鏈不完善，缺乏工業級中試線的支撐，科研團隊在研發做出樣品后又無法直接進入代工廠，難以實現漸進式的規模化成長。 據了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品，產品樣品測試結果良好，基本具備了MEMS芯片的開發加工能力。 “我們的中試線，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生產業務，前端與產品樣品銜接，后端與規模代工廠銜接，是一個完全工業級別的中試線，不僅可以幫助中小企業創新，還可以促進他們規模化發展。”蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線運營總監游家杰告訴記者。 當前，我國正處在MEMS產業格局形成、產業化加速發展的時期，產業資源集中分布在研發起步早、研發資源豐富、掌握技術前沿的環渤海灣(北京、天津、石家莊)地區，產品企業集聚、產業鏈健全、商業化環境優良的長三角(上海、蘇州、無錫)地區，市場驅動靈活、集成制造能力強的珠三角(深圳)地區。 從全國范圍看，江蘇MEMS產業資源集聚度最高，正成為國內MEMS創新與產業化最具吸引力的區域，MEMS產業資源主要集聚在南京、無錫、蘇州三個城市。蘇州在MEMS產業布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發、中試、封裝測試的全覆蓋的產業特色，涌現了晶方半導體、敏芯、明皜等一批業界知名公司。 “發展MEMS產業，既要看清楚我們的優勢，又要找準自身的不足。6英寸微納機電制造(MEMS)中試線只是蘇州MEMS產業發展的新起點，要構筑MEMS產業生態圈，我們還需要全國的產業資源，來突破資源限制、人才限制、技術限制。”張希軍長期擔任蘇州市集成電路行業協會秘書長，和半導體企業打了多年交道，對產業發展的核心要素有比較深地了解。 據了解，蘇州納米科技發展有限公司與東南大學MEMS教育部重點實驗室主任、國家“863”計劃MEMS重大專項總體組專家黃慶安教授合作，開展對全國MEMS資源的梳理，希望全面了解國內MEMS產業發展現狀。黃慶安教授認為，智慧終端、物聯網、智慧醫療等產業的發展，帶動了MEMS傳感器的市場需求，未來將成為MEMS應用的重要領域。 |
