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新型 PlanarDLA 線性直驅平臺具有高速度和定位精確性 Aerotech (www.aerotech.com) 現已推出一系列集成開放式架構平臺 ，具有精確的幾何性能和微米級直線度。此款新型 Planar DLA 平臺包括高精度滾柱軸承、精確加工表面和通過剛性軸心驅動的無接觸直線電機，這些特點可以實現 ±0.5µm 的直線度和 ±1.25µm 的平直度。 
應用包括： 半導體制造 電子設備制造 (LEDs) 測試與檢驗 激光加工 金屬檢驗 微機械加工 納米技術 醫療 實驗室 光學計量 晶片加工 計量 自動化 此款輕薄型平臺的設計應用范圍寬很廣，可用于從高動態雙面 LED 晶元加工到準靜態光學計量等各種場合。該系列產品共有九種型號，以滿足客戶在行程和精確度方面的各種要求。 PlanarDLA 能夠以 2 m/s 的速度和 2 g 加速度進行高產能、高精度加工，具有優異的加工產能和低廉的集成成本。它能夠達到很高的伺服帶寬，同時保持最大的有效通光孔徑，并保持最小的整體高度。 Aerotech 的專屬直接驅動技術提供高速度和精確定位功能，而且具有免維護和使用壽命長等特點。這些平臺每軸配備有一個或兩個電機，使每個軸針對具體的應用和過程達到最優化。 |
