即便您要重新設計傳動電機的傳感器，目標也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用 Tanner L-Edit 中的 MEMS 庫，您可以從大量 MEMS 器件不同的基本單元中進行選擇，然后迅速裝配出您的 MEMS（微機電系 統）版圖。采用 Tanner 設計工具，您可以運用圖 1 所示設計流程，來設計一個完整的“設計即正確”的 MEMS 流程。
圖 1：MEMS 創建設計流程。 MEMS 創建領域存在多種傳統設計流程。圖 1 顯示了一個自上而下的設計流程，其連接了 MEMS 設計所需 的不同設計領域。此流程為設計團隊提供了一種無縫解決方案，幫助其整合數字設計、模擬設計和 MEMS 器件到一個 IC 芯片里。 初始步驟：創建并驗證電路圖 首先，在 S-Edit 電路圖編輯器中為 MEMS 器件創建一個新單元，然后在測試電路中連接構成該器件的基本 單元 symbol。接下來利用 T-Spice 分析設計，并通過 W-Edit 波形查看器檢查工作情況的波形，以確定器件 是否符合預期。 指定層信息 對電路圖滿意之后，利用 L-Edit 創建 MEMS 器件的物理版圖。在 L-Edit 中，您可以使用 MEMS 庫中的 MEMS 基本單元器件。 您可以控制各基本單元的層信息，以及指定兩類基本 MEMS 元器件的層信息： • 表面微加工。您可以指定結構層數并定義各層的參數。您還可以指定各層的設計規則，例如間距、 包圍和最小線寬要求。 • 流體通道。您可以指定結構層數，以及定義 MEMS 庫中各流體基本單元對應的參數集。 此層信息會自動應用于 MEMS 庫中的各相關基本單元。 利用 MEMS 庫創建基本單元 MEMS 庫包含 40 多種用于 MEMS 器件版圖布局的參數化基本單元。基本單元隨著工具的每次新版本發布 而持續增加。MEMS 庫提供的基本單元按類別分組，如表 1 所示。 表 1：可用基本單元
要創建 MEMS 器件，只需利用 Library Palette 從 MEMS 庫中選擇各基本單元，如圖 2 所示。
圖 2：利用 Library Palette 裝配 MEMS 器件以獲得版圖。 例如，要創建一個橫向梳齒驅動諧振器，請將所需的基本單元實例調用，然后在版圖中進行連接。為了說 明該流程的簡單直接性，我們可以創建一個 MEMS 變送器；利用其諧振頻率對物理參數的高靈敏度，將它 變成一個傳感器。圖 3 描述了創建步驟： 1. 實例調用 Plate。 2. 實例調用一個梳齒驅動器并復制一個。 3. 將這兩個梳齒驅動器連接到 Plate。 4. 實例調用折疊彈簧，將其翻轉并復制一個。 5. 將這兩個折疊彈簧連接到 Plate。 6. 實例調用 Ground Plate，將其連接到適當層上的結構。 7. 實例化三個焊盤，將其連接到適當的層和元件。 8. 對于每個實例化基本單元，調整其參數以滿足您的需求（參見下一節）。
圖 3：已完成的橫向驅動諧振器。 更改參數 您可以更改任何已定義參數以影響 MEMS 結構的各元件。例如，圖 4 顯示了更改一個諧波側驅動型電機 基本單元的關鍵參數之后，版圖立即改變。
圖 4：通過僅調整一個參數快速改變電機基本單元。 利用參數化基本單元，您可以迅速構建 MEMS 結構。方法是，實例調用基本單元、復制粘貼、改變方向 以及更改參數，從而制作特定基本單元。各基本單元包含一組默認參數值，您可以利用這些值來快速布 局基本單元，然后選擇各基本單元并更改其參數。 設計您自己的基本單元 MEMS 庫包含 40 多種基本單元，您可以將其運用于 MEMS 結構中。但是，MEMS 設計的世界非常廣袤，有 時候您可能需要定義自己的基本單元，并將其放在 Library Palette 上以供您的團隊使用。圖 5 顯示了自行設 計基本單元的流程。
圖 5：自行設計基本單元的流程概覽 自行創建基本單元的步驟如下： 1. 制作一個電路圖 symbol。利用 S-Edit 定義該 symbol 實體、屬性和端口。 2. 創建 SPICE 模型。為了在 T-Spice 中仿真該基本單元，您需要定義 SPICE 模型。MEMS 器件可以是多域 系統： 電氣和非電氣。這要求定義 SPICE 電氣變量與非電氣域變量之間的映射。例如，Plate 上的壓力 可映射為電氣域中的電流。 3. 編寫版圖生成器。利用 C 編程語言和 L-Edit UPI 調用為自定義基本單元定義一個版圖生成器。C 程序 接受基本單元參數并生成所需的版圖信息。 結束流程 利用 L-Edit 中的 Library Palette 建構 MEMS 器件版圖之后，還有最后幾步要完成，如圖 6 所示。
圖 6：完成 MEMS 設計的步驟。 這些步驟包括： • 建立連接關系。結束流程時，一個常被忽略的步驟是建立基本單元之間的連接以便正確提取 SPICE 網 表。對于每個利用 Library Palette 實例化的基本單元，會自動創建正確的端口。L-Edit 可以在兩個或多 個基本單元端口之間建立連接。在諧振器示例中，您應將 Plate 的一個端口連接到梳齒驅動器之一的 一個端口。 • 版圖提取。利用 L-Edit 提取版圖會產生一個由 MEMS 器件和連接信息構成的 SPICE 網表。采用此提取 信息來比較版圖和電路圖（即所謂“版圖與電路圖比較”或 LVS）。 • 電路圖提取。對于 LVS，利用 S-Edit 提取電路圖網表。此網表包含器件描述、連接和幾何參數。 • 執行 LVS。利用 LVS 工具，您可以比較版圖和電路圖以確保二者描述的是同一器件。 您創建的每個 MEMS 器件都可以根據制造工藝進行調整，以保證結構符合設計規則。L-Edit 允許您從一組 預定義制造工藝中進行選擇。工藝信息包括層定義、設計和提取規則、模型參數值、宏以及工藝定義。 三維分析和系統級仿真 利用已完成的版圖數據，您可以自動生成器件的三維視圖。與三維視圖互動并添加技術信息，再將設計 發送給第三方三維分析工具以檢查多個域（例如機械、熱和靜電）之間的物理相互作用。然后，您可以 提取 MEMS 器件的行為模型，以便基于三維分析數據進行系統級仿真。 結語 利用 Tanner MEMS 參數化基本單元庫，您可以迅速創建復雜的表面微加工或流體 MEMS 器件。通過在 L-Edit 中實例化各基本單元、設置參數以及組裝版圖，您可以快速定義并分析器件。或許您是在重新設計 MEMS 電機的傳感器，但運用 Tanner 工具集，您可以盡可能快地完成任務 |
