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微電子教學實驗室建設方案——微電子器件及材料實驗測試平臺

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發表于 2019-6-20 17:12:24 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
關鍵詞: 電子 , 材料 , 半導體 , 二極管 , 高校
★本科生微電子器件及材料實驗測試平臺基本功能
實驗名稱
測試參數
金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性的IV特性測試實驗
· 輸出特性曲線
· 轉移特性曲線
· 跨導gm
· 擊穿電壓BVDS
四探針法測量半導體電阻率測試實驗
· 四探針法電阻率ρ
· 材料阻值R
MOS電容的準靜態CV特性測試實驗
· 準靜態CV特性曲線
半導體霍爾效應測試實驗
· 霍爾電壓VH
· 霍爾電阻率ρ
· 霍爾系數RH
· 載流子濃度n
· 霍爾遷移率u
激光二極管LD的LIV特性測試
· LIV特性曲線
· 閾值電流Ith
· 閾值電流對應電壓值Vth
· 拐點Kink
· 線性電阻Rs
太陽能電池的特性表征
· 開路電壓Voc
· 短路電流Isc
· 功率最大值Pmax
· 填充因子FF
· 轉換效率η
· 串聯電阻Rs
· 旁路電阻Rsh

★本科生微電子器件及材料實驗測試平臺核心
§
測試平臺的核心 – 源測量單元 (源表, SMU)
多通道配置四象限模式
四線/開爾文測試功能
小信號測試
file:///C:/Users/liuyang/AppData/Local/Temp/ksohtml/wps8513.tmp.png滿足先進器件和材料測試需求
標準器件測試庫

  
★本科生微電子器件及材料實驗測試基礎平臺和升級選件



★本科生微電子器件及材料實驗測試選型指南
2600雙通道源表 專業測試軟件 專業測試導線 夾具盒
積分球 暗電流測試表 開關
手動探針臺
磁場
實驗一:晶圓級分立器件IV特性分析
實驗二:四探針發測量半導體電阻率測試
               
實驗三:MOS電容的準靜態CV特性測試
實驗四:半導體霍爾效應測試
                       
       
實驗五:光電器件LIV特性測試
實驗六:太陽能電池的特性表征
               
基礎平臺:
2600雙通道源表 + 專業測試軟件+ 專業測試導線+ 夾具盒 +手動探針臺
升級選件:
積分球,暗電流測試表,開關,磁場

★本科生微電子器件及材料實驗測試平臺優勢
滿足本科生基礎教學實驗中微電子器件和材料測試需求
測試設備和軟件簡單易用,專業權威,方便學生動手操作
核心設備測試精度高,滿足新材料和新器件的指標要求
以基礎平臺為起點,可逐步升級,滿足日益增加的實驗室測試需求

附錄一:金屬—氧化物—半導體場效應晶體管特性IV特性測試實驗
q §實驗目的
掌握MOSFET的輸入特性測試及分析方法
§掌握MOSFET的輸出特性測試及分析方法
§學習利用MOSFET的電學特性曲線求解各種參數
q q實驗原理
§金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)是集成電路中特別重要的元器件。通過對MOSFET的直流輸入特性、輸出特性等電學特性測試,可以推算出器件的閾值電壓、導通電阻、擊穿電壓、跨導等重要參數。
q
q 實驗設備和測試結果
                                                      

附錄二:MSO電容的準靜態CV特性測試實驗
q 實驗目的
§ 掌握準靜態法測量界面態密度分布的原理
§ 熟練掌握準靜態C-V測量系統的使用方法
q 實驗原理
§ 通過測試MOS電容的高頻和低頻C-V特性曲線可以得到柵氧化層厚度、界面
態密度、平帶電容、平帶電壓等參數。
q 實驗設備和測試結果



附錄三:半導體霍爾效應測試實驗
q 實驗目的
§ 理解和掌握霍爾效應的原理
§ 掌握霍爾效應的測量方法
§ 掌握霍爾效應的分析方法
q 實驗原理
§ 霍爾系數的符號來判斷半導體材料的導電類型,是N型還是P型;根據霍爾系數及其與溫度的關系可以計算載流子的濃度,以及載流子濃度同溫度的關系,由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質電離能;通過霍爾系數和電阻率的聯合測量能夠確定載流子的遷移率,用微分霍爾效應法可測縱向載流子濃度分布;測量低溫霍爾效應可以確定雜質補償度。
q 實驗設備和測試結果



附錄四:激光二極管LD的LIV特性測試實驗
q 實驗目的
掌握激光二極管LD的基本原理
掌握激光二極管LD的測量方法
學習利用激光二極管LD的LIV特性曲線求解各種參數
q 實驗原理
§ 半導體激光二極管(LD)或簡稱半導體激光器,它通過受激輻射發光,是一種閾值器件,適合于作高速長距離光纖通信系統的光源。一般用注入電流值來標定閾值條件,也即閾值電流      LIV特性是選擇半導體激光器的重要依據。
q 實驗設備和測試結果
                                    


附錄五:太陽能電池的特性表征
q 實驗目的
§ 掌握太陽能電池的基本原理
§ 掌握太陽能電池的特性測試及分析方法
§ 學習利用太陽能電池的電學特性曲線求解各種參數
q 實驗原理
§ 光能就以產生電子-空穴對的形式轉變為電能。如果半導體內存在P-N結,則  在P型和N型交界面兩邊形成勢壘電場,能將電子驅向N區,空穴驅向P區,   在P-N結附近形成與勢壘電場相反的光生電場。若分別在P型層和N型層焊上
金屬引線,接通負載,則外電路便有電流通過。如此形成的一個個電池原件,
把它們串聯、并聯起來,就能產生一定的電壓和電流,輸出功率。
q 實驗設備和測試結果


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