吉時利微電子半導體行業方案

安泰測試設備

電阻測試是表征材料特性的最常用測試手段，在某些應用中，用戶需要進行極端微小電阻（Ultra-lowresistance）測試，例如納米材料，超導材料，繼電器開關，低電阻材料、連接器的測試，或者精密的熱量測定和研究領域。這些被測件通常具有非常高的導電性和非常小的電阻阻值，對測試連接方案有很大挑戰。在進行這類材料和器件的測試過程中，為了最大限度的降低被測設備的自熱效應，確保待測件的安全和測量的準確性，通常會使用加流測壓的方式，在被測物兩端施加可控的微弱精密電流信號，通過歐姆定律測定被測件的電阻阻值。

上圖為融化斷裂的納米管，由于施加電流過大自熱引起斷裂

在微小電阻測試領域，泰克公司提供的微小電阻測試方案， 通 過 使 用 吉 時 利 高 精 度 電 流 源622X(100fA~100mA輸出可調 ) 或 2400 系列源表，以及納伏表 2182A(1nV 靈敏度 ) 組合成為完備的測試解決方案，完美解決了在微小電阻測試過程中經常遇到的問題，使電阻測量靈敏度高達 10nW。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位機軟件和測試夾具，可以一站式解決用戶在儀表與待測件連接，測試結果存儲，以及數據分析過程中遇到的繁雜問題，提高測試效率。

方案特點：

● 極高的電阻測試分辨率和大測試量程

相比其他方法，622X+2182A 方案提供了高達 10nW的電阻測試分辨率，提供了極高的性價比。

● 更好的發熱控制

622X電流源輸出的電流分辨率最高可以達到 100fA，

可以精確控制加載在待測件兩端的電流大小，確保待

測件處在安全狀態下

● 更先進的測試方法，消除熱電動勢

可以使用 DeltaMode 模式消除，自動觸發電流源使信號極性交替變化，電流反向法消除了任何恒定的熱電失調，確保測量結果反映真實電壓值，大幅度降低測量中的噪聲信號

● 交鑰匙方案設計，可以提供完整的測試夾具方案和上位機數據采集處理軟件

低阻測試軟件界面

系統構成：

系統主要由 622X 高精度電流源 ( 或 2400 系列高精度源表 )、2182A 納伏表、測試夾具、轉接盒和上位機軟件構成。

622X精密電流源可以輸出正負電流，編程分辨率高達 100fA，6221 可以輸出帶寬在 1mHz~100KHz的交流和任意電流波形。

2182A具備 1nV 電壓測試分辨率，提供兩個獨立測試通道，可以與 622X 配合實現 DeltaMode 測試。

CT-MICR-ADP 轉接盒

方案還提供專用轉接頭配件 CT-MICR-ADP，可以將622X和 2182A 的各種輸出接口 ( 插片或者鱷魚夾 ) 統一轉接為標準的 4 終端 BNC 接口，方便與其他夾具或者探針臺進行互連。

通過 CT-MICR-ADP 連接微小表面貼裝器件的夾具上位機測試軟件 Cyclestar-MICR 提供了多種測試模式，包括 R-T 功能，電流掃描測試功能，DeltaMode 模式。

在DeltaMode下的軟件測試界面

軟件的 Pro 高級版還集成了脈沖測試功能，微分電導測試模式和 622X 任意波形輸出功能。

Pro 版本提供的脈沖、微分電導和任意波形輸出功能

一體化測試方案可以幫助客戶在短時間內搭建起微小電阻測試環境，針對不同物理尺寸，不同連接方式，和不同測試方法都可以快速方便的進行連接測試，并在電腦端直接記錄獲取數據進行后續分析。

系統結構：

使用 CT-MICR-ADP轉接盒還可以將測試系統與探針臺或其他夾具進行連接

典型方案配置：

安泰測試作為吉時利代理商，將和吉時利廠家一起，以客戶為中心，為客戶提供從解決方案、產品選型、儀器銷售到儀器維修、儀器延保、校準、預防性維護以及儀器培訓等為一體的服務，不管是售前還是售后，都讓用戶不再煩惱。