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積極拓展產(chǎn)能:華亞再向ASML下達一份7460萬美元光刻設備訂單

發(fā)布時間：2011-4-28 22:59    發(fā)布者：1770309616
關鍵詞： ASML , 光刻設備 , 華亞
一周前我們曾報道過臺灣華亞公司向著名光刻機廠商ASML下達了一份金額為2320萬美元的設備訂單的消息,而最近有消息稱華亞又向這家光刻機廠商追加下達了一份價值為7460萬美元的設備訂單.



按照ASML公司現(xiàn)有的光刻設備定價來估算,這次華亞很可能訂購了三臺ASML生產(chǎn)的ArF光源(193nm波長)液浸式光刻機,或者訂購的可能是多臺KrF光源(248nm波長)干式光刻機.

這兩輪光刻機采購行為顯示華亞正在積極拓展其芯片廠的產(chǎn)能.



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