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molbox1+流量測試主機(jī) 內(nèi)置2個(gè)高精度石英參考級(jí)壓力傳感器（Q-RPT） • 絕壓：± (0.01 % 讀數(shù)或 0.003 % Q-RPT 跨距，取大值 ) • 差壓 (A700K ) ：± (8.4 Pa或 0.032 % ΔP，取大值 ) • 差壓 (A350K ) ：± (4.2 Pa或 0.026 % ΔP，取大值 ) molbloc-L層流元件模塊 利用層流狀態(tài)的氣流上下游差壓與流速成正比的關(guān)系測量氣體流量 • 特級(jí)標(biāo)定：流量測量不確定度為讀數(shù)的±0.125％ • 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定：流量測量不確定度為讀數(shù)的±0.2％ • 量程范圍：最小（0-10） sccm；最大（0-100） slm molbloc-S音速噴嘴模塊 利用噴嘴在臨界條件下的質(zhì)量流量與入口絕對壓力成正比的關(guān)系測量氣體流量 • 特級(jí)標(biāo)定：流量測量不確定度為讀數(shù)的±0.125％ • 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定：流量測量不確定度為讀數(shù)的±0.2％ • 量程范圍：最小（0.2-5） slm；最大（200-5000） slm • 量程可擴(kuò)展至20000slm 資料下載： 
技術(shù)數(shù)據(jù) molbox1 流量測量主機(jī) 2014-8_2022.pdf
(5 MB)
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