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掌握EUV光刻核心技術:日本自研2nm越來越穩(wěn)了

發(fā)布時間:2023-4-11 09:05    發(fā)布者:eechina
關鍵詞: EUV , 光刻 , 日本 , 2nm
來源:快科技

目前,7nm及更高的先進制程工藝被臺積電、三星和Intel三家公司包攬。

也許是為了復興80年代在半導體行業(yè)的輝煌,日本八大電子電氣行業(yè)巨頭,包括豐田、Sony、NTT、NEC、軟銀(Softbank)、Denso、鎧俠(Kioxia)、三菱UFJ等企業(yè)在日本政府支持下成立了Rapidus公司。

Rapidus又聯(lián)合了美國IBM、歐洲IMEC微電子中心等,計劃直接搞定2nm工藝,最快在2025年量產(chǎn),2025到2030年的幾年中則會給其他企業(yè)提供代工服務。

最新消息,日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省正在敲定計劃,將額外向日本新成立的晶圓制造商Rapidus提供3000億日元補貼 ,用以在日本北海道千歲市興建半導體廠。

此前日本政府已經(jīng)給了700億日元的補貼,但這點錢是杯水車薪,距離2nm量產(chǎn)還有天價資金。Rapidus 董事長Tetsuro Higashi本月初表示該公司將需要大約7萬億日元(540億美元)的資金。

消息來源指出,這筆額外注資將協(xié)助Rapidus建造原型產(chǎn)線,預計2025年正式投產(chǎn)。

Rapidus計劃國產(chǎn)化的對象為使用于自動駕駛、人工智能(AI)等用途的先進邏輯芯片。

除了合作研發(fā)先進制程之外,Rapidus、IBM也將在量產(chǎn)、銷售面上建構互補的合作機制,藉此確保最先進芯片的供應,而IBM超級電腦用芯片將委托Rapidus生產(chǎn)。

雖然日本沒有先進的晶圓廠,但他們在先進工藝的上游尤其是設備和材料方面有很重要的布局——

包括持有全球市場100%份額EUV光罩測試機制造商Lasertec、占據(jù)100%市場份額的是東京電子的EUV涂覆顯影設備、全球僅有日本廠商研發(fā)出了EUV光刻膠以及傳統(tǒng)光刻機設備等。
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