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彭曄 (apeng@semi.org) 突然有一種沖動，想寫一寫中國本土半導體設備行業的一群人。雖然我從來沒有以采訪的名義向他們提出記者的“套路”問題，雖然他們在世界半導體設備舞臺上的聲音還微乎其微，雖然我能看到聽到的只是他們人生中一個片段，但他們的熱情投入與不斷進取的精神讓我感動。他們是中國半導體設備行業的脊梁。 素描 北方微電子的總裁耿錦啟是個實在人。印象最深的那句話就是“騎車5分鐘到客戶”。本土公司的優勢正在于貼近客戶的服務，北方的客戶服務中心都設在了自行車 5分鐘到達客戶的距離之內，“公司為每個辦事處都配備了自行車，保證客戶隨叫隨到。”而北方微電子保定辦公室就設在了客戶的公司內部，北方人與天威人表面看是客戶關系，但更像是同事關系，他們在為同一個目標而共同努力，即實現光伏模組效率的提高與成本的降低。 在公司經營與前沿技術研發領域，耿錦啟的理念卻已與國際接軌，進入了“汽車時代”。當北方微電子完成十五國家重大專項的刻蝕設備研發，并成功將3臺 200mm機臺銷售給中芯、華虹和宏力后，耿啟錦說北方開始了“二次創業”。除了引進海外人才、繼續300mm的前沿技術設備研發外，北方還成功開發了光伏PECVD設備，并且在北京設立了光伏制造整條中試線，與國際理念接軌進行研發，即以工藝開發為主，硬件調試為輔。“中國人講求謙虛，有實力就說實力，決不吹噓，”耿錦啟說。相信北方的PECVD設備也將具備這一實力風格。 七星電子集成電路工藝設備研發中心總經理盛金龍身上洋溢著北方人特有的熱情與直爽。說到300mm質量流量計Intel訂單的時候，盛金龍的第一句話就是，“都是我們的錯，是我們的研發有點兒慢了。”坦誠的態度給人以信任。相信一年1萬臺MFC的訂單，及成為國內MFC老大的業績與這種坦誠的態度不無關聯。 作為中國歷史最為悠久的半導體設備公司，七星的擴散退火與清洗設備早在國內市場享有很高的美譽度。在國家02專項的支持下，300mm最新的擴散退火系統即將走出七星，進入fab接受進一步的考驗。當問起系統的零部件本土化情況時，盛金龍自豪地說，只有一個關鍵部件是純進口的。說到自家設備的優點，盛金龍如數家珍，從設備的獨特腔體設計，到如何提高工藝穩定性等等。不過最后的一句總結，“等客戶有了好的結果再宣傳”，讓我再次感受到了盛金龍的直爽與謙虛。 中科院微電子所的葉甜春所長作為02專項的組長，“大權在握”，卻絲毫沒有架子。因為公差耽誤了北京“32nm技術研討會”的演講，葉所長道歉的話說了三遍。隨著國家32nm與22nm設備與工藝研發項目的開展，葉甜春胖了，因為壓力，因為事情太多，“只有吃飽了才有精力。”葉甜春笑談。 國家對半導體設備與工藝的重視，對中國產業來說是莫大的發展機會。面對千億元的研發資金，如何用好，如何快速地促進中國半導體產業的發展，這對02 專家組來說意味著責任與挑戰。與科技部官員溝通、與企業溝通是必須的步驟，了解國際最新技術趨勢與熱點也是不可或缺的，只有通過調查研究，才有發言權。葉甜春說，我們的目標就是在2020年，中國能夠成為引領世界半導體行業發展的一份力量，在世界半導體行業有自己的聲音。 機遇與發展 2006年２月９日，國務院發布了《國家中長期科學和技術發展規劃綱要（2006-2020年）》確定了未來15年力爭取得突破的16個重大科技專項，涉及信息、生物等戰略產業領域，能源資源環境和人民健康等重大緊迫問題以及軍民兩用技術和國防技術。其中01、02專項分別為核心電子器件、高端通用芯片及基礎軟件，以及極大規模集成電路制造技術及成套工藝。作為信息產業的基礎，IC的設計與制造引起了國家高度重視，希望籍此機會帶動國內半導體全產業鏈的技術進步，政府對半導體的巨大投入無疑是產業發展難得的一次機遇。 七星承攬著02專項擴散退火系統的研發項目，盛金龍說，此次國家的投入與之前的十五計劃相比增加了非常多，國家現在不是怕花錢，而是怕“出不來東西”。 在先進工藝研發領域的數十億投入也將大幅提升芯片廠的工藝技術水平和IP的擁有量，促進自主創新。據中芯國際技術處長吳漢明介紹，目前中芯每年能夠自主開發數百專利，45nm的激光退火、32nm的雙曝光、HKMG等關鍵技術領域都是重點研發方向。與此同時，中芯還能夠為國產半導體設備提供驗證平臺，為01專項的IC設計公司提供工藝支持及免費的MPW服務，與產業鏈上下游共同進步。 隨著半導體技術日益廣泛地應用于太陽能光伏、TFT、LED等領域，本土設備公司在半導體領域的技術積累已經轉移到大半導體領域。中電48所、七星、北方微電子等公司與Applied Materials等國際公司走的是同樣的道路。 隨著全球對綠色能源的需求提高，以及對光伏成本降低的不懈追求，中國光伏產業開始了欣欣向榮的發展，中國的設備制造公司由于成本優勢也擁有了更多的機會。“最近幾年是太陽能產業發展的黃金期，但隨著越來越多傳統半導體國際公司進入這一領域，留給我們發展的時間也許并不太多。”七星副總經理張國銘說。 七星也是國內首家進入TFT五代線的本土設備公司，在光伏與TFT設備領域的成功正是保證七星每年業績兩位數增長的法寶。而正是有了半導體設備的技術基礎，才讓七星敏銳地把握住了每一次市場機遇。 挑戰與困惑 “從產品開發到成熟、再到市場認可通常需要6－7年，”耿錦啟說。目前半導體市場已基本成熟，2009年市場還在萎縮，國內的市場需求也不明朗，因此單純依靠半導體設備，企業的生存與發展自然會受到制約。 市場的成熟也讓任何一個細分的半導體裝備很難超過2家供應商，這對不占先機的中國公司是一大挑戰。“中國制造”曾改變了服裝、電子等產品的世界秩序，但在最為精密的半導體設備與工藝領域，“中國制造”能否續寫這一神話？沒有努力不能下結論，但基礎工業也絕非是一朝一夕能夠快速提高的。 貌似不起眼的零部件國產化問題是目前設備產業面臨的最大困惑之一。半導體設備的4大關鍵零部件，即泵、質量流量計、閥門和管道，看似簡單的部件，但目前本土生產的先進半導體設備的核心幾乎都采用進口的零部件。在產量無法與國際先進水平相提并論的今天，我們零部件的價格實際比競爭對手還要高！但設備銷售的價格卻必須比進口設備低30％左右，七星微電子設備分公司總經理唐亞非對此不無感慨。如何抓好基礎的基礎，即零部件產業，是多年來本土半導體設備公司發展的瓶頸之一。 本土設備對“技術含量略低”的光伏設備全球市場的沖擊有目共睹。這也迫使國際設備公司不得不采取降價措施，因此中國光伏制造的全球價格優勢也不能少了本土設備公司這一份貢獻。但我們同時還發現，不論是核心的薄膜光伏鍍膜設備，還是TFT核心鍍膜設備、LED生長的核心MOCVD設備，這些最為關鍵的領域似乎都還缺少中國公司的身影。SEMI顧問莫大康的這一評述讓我們再一次審視中國設備產業的技術基礎，沒有堅實的鋼筋，將很難蓋起摩天大樓。 思考是行動的基礎。正是出于對設備行業的一腔熱情，讓他們有了這份思考。中國半導體產業的未來，將建立在今天我們共同努力的磚石上。 |
