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隨著信息時代的推進，半導體行業正在迅猛發展，為社會帶來了顯著的經濟效益和就業機會。然而，這一行業的快速發展也伴隨著對大氣的污染問題。由于半導體行業對操作室的清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣，這使得半導體行業廢氣具有排放量大、排放濃度小的特點。 這些廢氣主要包括有機廢氣和酸堿廢氣兩類。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿廢氣則包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的來源主要是在芯片或線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產生的。 這些廢氣不僅對環境造成污染，而且對人們的健康也構成威脅。在半導體制造過程中，元器件組裝焊接、電路板等器件清洗等表面處理過程中使用的化學藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物，會揮發成為污染氣體，如果這些氣體超標排放，可能會導致人群慢性或急性中毒。 為應對這一問題，我們需要對廢氣進行實時精準的檢測。一種解決方案是采用集成廢氣檢測系統，它可以實時采集和檢測廢氣的濃度等參數，一旦發現超標排放，可以快速預警。此外，結合網格化管理，可以實現企業廢氣檢測與監管的高效聯動。這種系統廣泛應用于半導體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業廢氣處理等領域。其監測項目主要包括非甲烷總烴監測、砷烷監測、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監測、氨氣監測等。 在檢測原理方面，主要有PID光離子檢測方法和電化學檢測方法兩種。PID光離子氣體傳感器采用光離子電離氣體原理進行氣體檢測，適用于混合氣體中揮發性有機物總含量的測定。而電化學傳感器則是通過與被測氣體發生反應并產生與氣體濃度成正比的電信號來進行工作。 在設備選型方面，對于工藝排口的有機廢氣排口(包括VOC治理排口)，推薦使用PID在線監測設備；對于無機廢氣排口，建議使用煙氣在線監測設備；而對于非工藝排口，如呼吸閥、實驗室排放口、儲罐呼吸孔等，則可選用電化學傳感器監測設備。 工采網代理的英國Alphasense光離子傳感器PID和電化學氣體傳感器是針對半導體制造業有毒廢氣監測應用的專業級傳感器產品，傳感器具有靈敏度高，選擇性好，穩定性好，濃度輸出線性好等優點，可長時間穩定持續監測，可大大降低半導體制造業毒氣監測成本，實現大范圍安裝應用，為半導體制造業毒氣監測提供了切實可行的安全生產監測解決方案。 Alphasense光離子傳感器PID是針對揮發性有機化合物的檢測和測量而設計的一款小型氣體傳感器，它適用于制造業、加工業這類典型的揮發性有機化合物高危場所以及環保監測。 傳感器采用PID檢測技術對氣體環境中的VOCs濃度進行檢測，檢測結果更準確。傳感器量程選擇多，高靈敏度，使用壽命更長，且體積小巧，便于與各類氣體測量模組與擴展板集成，在氣體檢測儀制作設計方面有較大的使用空間。 在執行標準方面，應遵循一系列國家和行業標準。這些標準涵蓋了爆炸性氣體環境電氣設備的要求、危險場所電氣安裝規范、有毒氣體檢測報警設計標準、作業場所環境氣體檢測報警儀通用技術要求等多個方面。此外，還應遵循大氣污染物綜合排放標準和固定污染源排放煙氣連續監測系統技術要求及檢測方法等規定。 總的來說，半導體行業的廢氣處理是一個復雜而重要的議題。通過采用先進的檢測技術和設備，以及嚴格遵守相關標準和規定，我們可以有效減少廢氣對環境和健康的負面影響，推動半導體行業的可持續發展。 |
