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并聯式四角自由度定位平臺誤差分析
發(fā)布時間：2010-2-28 10:17 發(fā)布者：
蹦蹦
關鍵詞：
并聯式
,
平臺
,
誤差分析
,
自由度
摘要：設計了一種應用于掃描電鏡的四自由度并聯定位平臺。該平臺結構簡單，便于集成微操作裝置和實現微結構物性在線檢測。為使所設計的定位平臺具有高的定位精度，建立了平臺的誤差矢量模型。通過模擬
仿真
手段分析了結構誤差和上平臺分支分布對平臺末端定位精度的影響，分析了在大載荷作用下機構在非自由度方向產生的角位移輸出。
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并聯式四角自由度定位平臺誤差分析.pdf
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2010-2-28 10:17 上傳
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