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宏微驅(qū)動定位系統(tǒng)滑模變結(jié)構(gòu)控制的研究

發(fā)布時間：2010-3-3 11:13 發(fā)布者：諸葛孔明

關(guān)鍵詞：定位系統(tǒng) , 滑模 , 結(jié)構(gòu) , 驅(qū)動 , 研究

內(nèi)容摘要：本文研究了具有宏/微雙重驅(qū)動定位工作臺的滑模變結(jié)構(gòu)控制技術(shù)，該工作臺采用直線電機進行大行程位移驅(qū)動，來保證較大的工作行程和較快的響應(yīng)速度，采用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅(qū)動，利用光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)位移反饋，可以實現(xiàn) 100mm 的工作行程，0.01μm 的重復(fù)定位精度。

下載：

宏微驅(qū)動定位系統(tǒng)滑模變結(jié)構(gòu)控制的研究.pdf (174.32 KB)

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