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宏微驅動定位系統滑模變結構控制的研究
發布時間:2010-3-3 11:13 發布者:
諸葛孔明
關鍵詞:
定位系統
,
滑模
,
結構
,
驅動
,
研究
內容摘要:本文研究了具有宏/微雙重驅動定位工作臺的滑模變結構控制技術,該工作臺采用直線電機進行大行程位移驅動,來保證較大的工作行程和較快的響應速度,采用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅動,利用光柵尺實現閉環位移反饋,可以實現 100mm 的工作行程,0.01μm 的重復定位精度。
下載:
宏微驅動定位系統滑模變結構控制的研究.pdf
(174.32 KB)
2010-3-3 11:13 上傳
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