實(shí)驗(yàn)名稱:變形鏡驅(qū)動器應(yīng)變與鏡面位移測試實(shí)驗(yàn) 測試設(shè)備:變形鏡、高壓放大器、波面干涉儀、基恩士激光位移傳感器和實(shí)時仿真系統(tǒng)。 圖1:粘接應(yīng)變花的單電極變形鏡 搭建了橫向壓電變形鏡面形和鏡面位移測試系統(tǒng),在開環(huán)狀態(tài)下,dSPACE輸出信號參考信號ur(t),經(jīng)高壓放大器進(jìn)行放大,作為變形鏡輸入信號,驅(qū)動變形鏡運(yùn)動。閉環(huán)狀態(tài)下,經(jīng)應(yīng)變放大器放大的應(yīng)變花信號S(t)與ur(t)進(jìn)行比較,MATLAB/Simulink的PID控制器進(jìn)行相應(yīng)的控制[133],輸出信號為uc(t)。波面干涉儀可測試變形鏡鏡面的變形。利用MATLAB將應(yīng)變數(shù)據(jù)S(t)帶入預(yù)測模型進(jìn)行計算,與實(shí)測的面形進(jìn)行對比,得到模型的預(yù)測精度。同時,鏡面的最大變形量信號x(t)通過位移傳感器由dSPACE采集,可進(jìn)行非線性誤差校正實(shí)驗(yàn)。 圖2:集成應(yīng)變反饋層的單電極變形鏡測試系統(tǒng) 圖3:變形鏡驅(qū)動器應(yīng)變和鏡面位移測試 電壓放大器推薦:ATA-7010 圖:ATA-7010高壓放大器指標(biāo)參數(shù) |