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實驗名稱：位置控制系統懸浮實驗 測試目的：靜電懸浮位置控制系統是靜電懸浮材料加工技術的基礎，同時也是核心，我國尚未有已經完全掌握了該項核心技術的報道，本文在分析位置控制系統各組成部分的工作原理上，設計實現靜電懸浮位置控制系統，并實現了對懸浮樣品的穩定位置控制。 測試設備：高壓放大器、懸浮電極、激光電源等。 圖1：靜電懸浮位置控制系統 豎直方向位置控制系統實驗裝置由650nm半導體激光光源、三維控制板、高壓放大器、懸浮電極等組成，圖2所示的上圖為PSD、信號放大電路、懸浮電極、激光光源和高壓放大器，下圖為控制板和控制板供電電源。 圖2：豎直方向位置控制系統實驗裝置 圖3：懸浮情況圖 圖4：懸浮精度測定圖 圖5：示波器觀察懸浮起步過程 采用650nm光源的豎直方向位置控制系統的位置控制精度為±0.05mm，這已經達到本文靜電懸浮位置控制系統的設計要求（±0.25mm）。將來用性能更好的808nm激光器做位置測量，豎直方向的控制精度必然更高。另外，水平方向的位置控制不需要克服重力，中心位置是懸浮樣品在水平方向電場力的平衡點，水平方向的位置控制主要是為了防止外界的干擾，那么水平方向的位置控制能夠達到更高的精度。 電壓放大器推薦：ATA-7050 圖：ATA-7050高壓放大器指標參數 |
