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安泰高壓放大器在變形鏡影響函數(shù)測(cè)試研究中的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2025-1-22 11:20    發(fā)布者:aigtek01
關(guān)鍵詞: 高壓放大器
  實(shí)驗(yàn)名稱(chēng):低階大行程像差補(bǔ)償器件性能測(cè)試
  測(cè)試目的:根據(jù)設(shè)計(jì)方案和研究結(jié)果制備了基于低階像差的3單元單壓電片變形鏡作為低階大行程像差補(bǔ)償器件,搭建實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)對(duì)其相關(guān)性能進(jìn)行了測(cè)試,并與仿真結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比分析。
  測(cè)試設(shè)備:高壓放大器、哈特曼傳感器、雙壓變形鏡、計(jì)算機(jī)等。
  實(shí)驗(yàn)過(guò)程:

  圖1:變形鏡影響函數(shù)測(cè)試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)流程圖

  圖2:實(shí)驗(yàn)光路圖
  哈特曼波前傳感器自帶光源發(fā)出的光束經(jīng)傳感器內(nèi)準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)和分光反射鏡組合后入射到變形鏡表面,光束經(jīng)變形鏡反射后,帶有變形鏡鏡面信息的光束入射到哈特曼傳感器內(nèi)采集相機(jī)靶面上,由哈特曼傳感器控制計(jì)算機(jī)完成波前復(fù)原,完成變形鏡面形的測(cè)試。
  波前探測(cè)裝置為自帶準(zhǔn)直光源、通光孔徑為30mm的哈特曼傳感器,探測(cè)結(jié)果和圖像采集均由波前采集控制中心完成,驅(qū)動(dòng)電壓由控制中心產(chǎn)生電壓信號(hào),經(jīng)47通路的高壓放大器放大輸出。
  實(shí)驗(yàn)結(jié)果:

  圖3:激光干涉儀測(cè)初始面形圖
  從圖中結(jié)果可知,變形鏡全口徑面形PV大約為3.35個(gè)波長(zhǎng),15mm有效口徑內(nèi)面形PV大約為1.12個(gè)波長(zhǎng),干涉儀測(cè)試激光波長(zhǎng)為650nm,有效口徑內(nèi)初始面形PV值為0.73μm。硅鏡拋光過(guò)程和變形鏡粘接過(guò)程都可能導(dǎo)致初始面形的不平整,在閉環(huán)校正過(guò)程中,變形鏡能對(duì)自身初始面形進(jìn)行校正。

  圖4:哈特曼傳感器測(cè)初始面形圖
  用哈特曼傳感器測(cè)量有效口徑的初始面形結(jié)果如上圖,初始面形PV值為0.79μm,與干涉儀測(cè)量結(jié)果大致相同。
  影響函數(shù)反應(yīng)了變形鏡在驅(qū)動(dòng)電壓下的表面變形能力。影響函數(shù)的面形特點(diǎn)直接決定了變形鏡對(duì)波前畸變的補(bǔ)償精度,其幅值大小也決定了變形鏡的校正行程,行程越大,變形鏡單次校正像差的能力越強(qiáng),閉環(huán)校正速度也越快。
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