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僅監測ID的OTF方法 一種常用的OTF方法是僅監測漏極電流。這種方法在漏極施加小偏壓（通常為25～100mV）并連續進行漏極電 流測量，如圖1所示。在此方法中，連續的采樣速率非常 關鍵。用2600系列源表能實現90μs連續采樣間隔以及能 存儲多達50,000數據點的儀器緩沖區。 這種方法的一個重要優點是，在撤銷應力后可以在很 短時間內采集到BTI恢復動態的機制，如圖2右部所示。已 經發現，恢復動態比劣化動態對于工藝偏差表現出更大的 易變性和敏感性。 
即時單點法
即時VTH 法 一些研究人員可能注意到許多OTF方法采用了與關注 參數關系甚遠的間接VTH 測量技術。例如，間歇期測量僅 監測ID不能很好地觀察VTH 實際偏移，因為其它參數偏移 （例如界面態劣化造成的移動性劣化）也可能影響ID，這 與VTH 影響的ID 無關。 OTF VTH 法只是將Denais OTF方法中的3次測 量替換為以gm-max 為中心的一些掃描點，如圖4所示。取決于 測試系統的噪底、源建立速度和測量積分速度，這樣提取 的VTH 潛在地要比僅從3個測量點外插得到的VTH 準確。
實現 本應用筆記介紹的測量已用2600系列源表實現過。一 臺帶有雙4象限源-測量單元和嵌入式腳本處理器的2612能 獨立執行完整的BTI特性分析。除了本文介紹的例子外， 2612還能進行更復雜的測試，例如Parthasarathy等人提出 的“IV OTF偏壓模式”。4 2600系列儀器嵌入的測試腳本語言能靈活地實現上述復雜測試。而且，吉時利提供的免費 測試腳本實例能加速用戶集成方案的開發。 通道擴展 2600系列源表的架構針對可擴展性進行了優化。在實 驗室或生產環境中，可擴展性簡化了多通道并行系統的構 建和快速NBTI測試的執行。欲獲知系統擴展指南，請參見 名為“Meeting New Challenges in Wafer Level Reliabi -lity Testing using Source-Measure Units (SMUs)[用源-測量單元（SMU）迎接晶圓級可靠性測試新挑戰]”的在 線歸檔指南。可從吉時利網站下載該指南www.keithley. com/events/semconfs/webseminars，并在www.keithley. com獲取其它信息資源。 4 定制系統 吉時利能將多臺2600系列儀器集成為完整的BTI測試方案。當結合4200-SCS和脈沖I-V選 件（4200-PIV）使用時，這些方案能對偏壓溫 度不穩定性機制實現前所未有的深入觀測。提供的全自動晶匣級晶圓自動化功能能采集統計 意義上極大規模的樣品。 想與吉時利測試測量專家互動？想有更多學習資源？可登錄吉時利官方網站http://www.keithley.com.cn/ |
